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中国据报已逆向建造EUV原型机 并成功产生极紫外光
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《路透》引述消息报道，中国科学家在深圳一处高度保密的实验室内，建造了一台极紫外光刻机(EUV)原型机。 消息指，该原型机几乎占据整个厂房楼层，在年初完成并正进行测试，目前已可运作并成功产生极紫外光，尚未生产出可运作的晶片。消息指，中国政府目标2028年前使用该原型机生产出可运作晶片，但项目相关人士表示，更现实目标为2030年。 消息又指，该光刻机由一群荷兰光刻机生产商ASML前工程师组成的团队建造，他们逆向建造该EUV。(fc/w)AASTOCKS新闻 |
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